Vakuumfeste Bauteile

Eine Vielzahl technischer Prozesse, wie z.B. in der Halbleiterfertigung, der Medizintechnik oder Materialprüfung erfolgen im Vakuum. Eine wesentliche Anforderung vieler hierbei eingesetzter Komponenten ist eine hohe Vakuumdichtigkeit. Zudem dürfen die verwendeten Materialien im Vakuum nicht ausgasen.

DOCERAM Hochleistungskeramiken, wie Aluminiumoxid, CERAZUR und VOLCERA sind bestens für solche Prozesse geeignet. Aufgrund ihres dicht gesinterten Gefüges ist die Anwendung auch im Ultrahochvakuum möglich.

Anwendungen sind beispielsweise Komponenten aus Hochleistungskeramik, die als Isolatoren und Aufnahmen in Beschichtungsprozessen eingesetzt werden.
 

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